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应用案例 | RS系列多功能一体式I/O助力半导体行业显影涂胶更精密!

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客户评价:

德克威尔RS系列模块抗干扰能力强,能帮助我们精准调控各类参数,保证数据传输稳定,与 PLC 协同作业高效流畅,为显影涂胶精准度与效率提升给予坚实保障 。


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行业解析

显影涂胶


在半导体、PCB 等电子制造领域,显影涂胶是不可或缺的工序。显影过程将光刻胶中的曝光部分去除,从而在基板上形成精确的图案;而涂胶则是在基板表面均匀地覆盖一层光刻胶,为后续的光刻步骤做准备。这两个步骤的精度和稳定性,直接决定了最终产品的线路精度、电气性能等关键指标。

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随着电子产品朝着小型化、高性能化发展,显影涂胶工艺面临着诸多挑战。一方面,对涂胶厚度的均匀性和图案精度要求越来越高,传统设备难以满足高精度的生产需求;另一方面,生产效率和设备稳定性也是制约行业发展的重要因素。


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现场痛点

RS系列轻松解决


在实际生产中,许多企业使用的传统显影涂胶设备暴露出了一系列问题。



痛点1:无法精确控制


实际显影涂胶工艺中,单个工位往往需要数字量与模拟量混合使用 ,对模块的兼容性要求极高。在一些高精度芯片制造中,哪怕是微小的厚度偏差,都可能导致芯片性能下降甚至报废。


RS系列:

采用分体式设计,可任意选择面板。长款底座设计精妙,支持两个插槽同时运作,完美兼容数字量与模拟量的混合运用。

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这意味着在处理复杂的显影涂胶任务时,能够精准调控各类参数,比如通过精确的数字量控制实现对涂胶位置的精准定位,利用模拟量的连续变化特性精细调整涂胶的流量与速度,极大地提升了显影涂胶的精度,成功适配了工艺端对高精度的严苛要求。



痛点2:效率低下


设备的运行速度慢,生产周期长,无法满足大规模生产的需求。特别是在市场需求旺盛时,产能不足成为企业发展的瓶颈。


RS系列:

1.数据传输速度可达 100Mbps,信号传输稳定可靠,响应时间在11μs内,设备运行速度相比传统设备提升了 50%,大大提高了生产效率;


2.分体式设计,可灵活配置,为现代工业自动化提供了高效、可靠的解决方案。

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痛点3:稳定性差


设备频繁出现故障,需要大量的维护和维修工作,不仅增加了生产成本,还影响了生产计划的顺利进行。


RS系列:

1.采用高品质的硬件组件和严格的质量检测流程,其 EMC 测试标准远超国家标准,能有效抵御电磁干扰,确保设备在长时间运行中稳定可靠;


2.具有先进的故障诊断系统,能够实时监测设备状态,提前预警潜在故障,降低设备故障率,减少维护成本;


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3.拥有热插拔功能,在设备运行过程中可直接插拔模块,无需停机,大大降低了维护难度和成本,提高了维护效率。


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德克威尔方案

显影涂胶控制系统


西门子1200 PLC结合我司的RS系列I/O模块,构成了一套高效的显影涂胶控制系统。该系统能够接收多种传感器信号,如温度传感器、湿度传感器和涂胶厚度传感器,实时监测涂胶过程的环境条件与涂层质量。

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PLC根据这些数据精确控制负载,包括涂胶机的搅拌电动机、喷涂系统和加热装置,从而优化涂胶效果,确保涂层均匀性和稳定性。通过这种智能化的监测与控制,显影涂胶工艺能够提高生产效率,确保产品质量。


具体配置:


主站:西门子PLC

适用工艺段:显影涂胶

项目I/O配置:1*RS-PN2+4*16DI+4*16DO+1*8AI

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